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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6464236(A) 申请公布日期 1989.03.10
申请号 JP19870220742 申请日期 1987.09.03
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YOSHIDA MASAKATSU
分类号 H01L21/8234;H01L21/306;H01L21/3205;H01L21/336;H01L23/52;H01L27/08;H01L27/088;H01L29/78 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
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