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发明名称 APPLICATOR FOR PHOTO-RESIST
摘要
申请公布号 JPS6464217(A) 申请公布日期 1989.03.10
申请号 JP19870220661 申请日期 1987.09.02
申请人 NEC CORP 发明人 YAMADA YOSHIAKI
分类号 B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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