MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19870220144-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPS6464318(A)	申请公布日期	1989.03.10
申请号	JP19870220144	申请日期	1987.09.04
申请人	HITACHI LTD	发明人	KOBAYASHI NOBUYOSHI;SAITO MASAYOSHI;SUZUKI MASAYASU
分类号	H01L21/285;H01L21/28	主分类号	H01L21/285
代理机构		代理人
主权项
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