发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6464234(A) 申请公布日期 1989.03.10
申请号 JP19870220672 申请日期 1987.09.03
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ABE KEIICHI;KOBAYASHI KIYOSHI
分类号 H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
地址