发明名称 VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6464313(A) 申请公布日期 1989.03.10
申请号 JP19870221438 申请日期 1987.09.04
申请人 TOSHIBA MACH CO LTD 发明人 IGA HIROSHI;KASHIWAGI NOBUO;MIYANOMAE YOSHIHIRO;KOBAYASHI TAKEHIKO
分类号 H01L21/31;H01L21/205 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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