| 摘要 |
Dans la présente invention, une sonde de type sans contact (PRB), capable de mesurer simultanément les distances reliant trois points sur une surface de modèle, est utilisée: pour déterminer les incréments d'inclinaison dans les directions de l'axe des X et de l'axe des Y à partir des distances entre les points A, B et C et la sonde qui sont mesurées à chaque temps d'échantillonnage prédéterminé; et pour calculer la direction perpendiculaire N du modèle au niveau du point de mesure A. Un incrément de chaque axe par temps d'échantillonnage est déterminé: (i) à partir de l'incrément de chacun des trois axes de rotation du système de coordonnées orthogonales et des deux axes de rotation de la sonde nécessaires pour faire tourner l'axe optique (OPI) dans la direction perpendiculaire, pendant que le point de mesure (A) est maintenu fixe, et (ii) à partir d'une quantité d'avance pour chaque temps d'échantillonnage et à partir des distances mesurées au moyen d'un organe de mesure de distances. Pendant qu'on oriente l'axe optique (OPI) dans la direction perpendiculaire au modèle en effectuant une commande simultanée des cinq axes au moyen de ces incréments, on obtient le profilage du modèle (MDL). |
