FIELD IONIZATION TYPE ION SOURCE,申请号JP19870220810-传众专利搜索

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发明名称	FIELD IONIZATION TYPE ION SOURCE
摘要
申请公布号	JPS6463247(A)	申请公布日期	1989.03.09
申请号	JP19870220810	申请日期	1987.09.03
申请人	FUJITSU LTD	发明人	HORIUCHI TAKASHI
分类号	H01J27/26;H01J37/08;H01L21/027;H01L21/30	主分类号	H01J27/26
代理机构		代理人
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