发明名称 APPARATUS FOR THE PRODUCTION OF A VACUUM
摘要
申请公布号 DE3568071(D1) 申请公布日期 1989.03.09
申请号 DE19853568071 申请日期 1985.11.25
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 SCHONWALD, SIEGFRIED, DIPL.-ING.;TROJAHN, HANS-GEORG;SCHMID, NORBERT, DIPL.-ING.
分类号 F04C23/00;F04C29/04;(IPC1-7):F04C29/04 主分类号 F04C23/00
代理机构 代理人
主权项
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