发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6461064(A) 申请公布日期 1989.03.08
申请号 JP19870219402 申请日期 1987.09.01
申请人 NEC CORP 发明人 HARA YUJI
分类号 H01L21/265;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利