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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6461926(A)
申请公布日期
1989.03.08
申请号
JP19870219801
申请日期
1987.09.02
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
MITARAI GORO;SATSUMA KAZUMASA
分类号
H01L21/761;H01L21/76
主分类号
H01L21/761
代理机构
代理人
主权项
地址
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