发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6461926(A) 申请公布日期 1989.03.08
申请号 JP19870219801 申请日期 1987.09.02
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MITARAI GORO;SATSUMA KAZUMASA
分类号 H01L21/761;H01L21/76 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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