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发明名称
LASER ANNEALING METHOD
摘要
申请公布号
JPS6461017(A)
申请公布日期
1989.03.08
申请号
JP19870219443
申请日期
1987.09.01
申请人
NEC CORP
发明人
OGURA ATSUSHI
分类号
H01L21/20;H01L21/263;H01L21/268
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
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