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发明名称 FORMATION OF BORON NITRIDE FILM
摘要
申请公布号 JPS6462472(A) 申请公布日期 1989.03.08
申请号 JP19870215405 申请日期 1987.08.31
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMAGUCHI SHIZUKA
分类号 C23C16/50;C23C16/34 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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