| 发明名称 |
GRADING ORIENTATION ERRORS IN CRYSTAL SPECIMENS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0239260(A3) |
申请公布日期 |
1989.03.08 |
| 申请号 |
EP19870301860 |
申请日期 |
1987.03.04 |
| 申请人 |
HOWE, STEPHEN;ROGERS, DONALD |
发明人 |
HOWE, STEPHEN |
| 分类号 |
H01L21/205;C30B25/16;G01N23/207;(IPC1-7):G01N23/207 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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