| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von mehrlagigen CVD- oder PVD-Hartstoffschichten als Verschleißschutz auf WC-Co- oder WC-Ni-haltigen Hartmetallteilen, insbesondere Schneideinsätzen, wobei mindestens eine der Schichten eine Metall-Bornitrid-Schicht ist. Erfindungsgemäß wird dabei die Borkonzentration in der Metall-Bornitrid-Schicht unterhalb jenes Grenzwertes gehalten, bei welchem neben der homogenen Bornitrid-Mischkristallphase erstmals eine weitere, insbesondere eine Diborid-Phase auftritt. Durch Aufbringen einer nicht oder nur geringfügig borhaltigen Zwischenschicht als Diffusionsbarriere zwischen Hartmetall und Metall-Bornitrid-Schicht wird die Formation von WCoB- bzw. WNiB-Phasen in der Randzone des Hartmetalles soweit verhindert, daß sich die Zähigkeit des Hartmetalles nicht nachteilig verändert. Die Metall-Bornitrid-Schicht wird vorzugsweise als Titanbornitrid-Schicht mit einer Borkonzentration zwischen 1,5 und 15 Atom% oder als Zirkonbornitrid-Schicht mit einer Borkonzentration zwischen 0,1 und 2 Atom% ausgeführt. Sie kann sowohl einlagig als auch mehrlagig im Wechsel mit anderen Hartstoffschichten aufgebracht werden. Als Zwischenschicht hat sich eine ein- oder mehrlagige Schicht aus einem Karbid, Nitrid oder Karbonitrid der Elemente Ti, Zr, Hf besonders bewährt.</p> |
