发明名称 CHARGED PARTICLE ENERGY SPECTROMETER
摘要
申请公布号 EP0137650(B1) 申请公布日期 1989.03.08
申请号 EP19840305553 申请日期 1984.08.15
申请人 VG INSTRUMENTS GROUP LIMITED 发明人 YATES, KENNETH
分类号 H01J49/44;H01J49/02;H01J49/48;(IPC1-7):H01J49/02 主分类号 H01J49/44
代理机构 代理人
主权项
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