发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6462500(A) 申请公布日期 1989.03.08
申请号 JP19870218328 申请日期 1987.08.31
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OGAWA TETSUYA;SHINODA TSUTAE;TAKAHASHI TOICHI
分类号 C25F3/02 主分类号 C25F3/02
代理机构 代理人
主权项
地址