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发明名称 EINRICHTUNG ZUR HEIZUNG VON SUBSTRATEN BEIM PLASMATRONSPUTTERN
摘要
申请公布号 DD265646(A1) 申请公布日期 1989.03.08
申请号 DD19870307981 申请日期 1987.10.15
申请人 FORSCHUNGSINSTITUT MANFRED VON ARDENNE,DD 发明人 HEISIG,ULLRICH,DD;KORNDOERFER,CHRISTIAN,DD;KOSCH,WOLFGANG,DD;REICHARDT,HORST,DD;TESCHNER,GOETZ,DD;GEHMLICH,KONRAD,DD;FRACH,PETER,DD;SCHILLER,SIEGFRIED,DD;HEIDER,GEORG,DD
分类号 C23C14/02;(IPC1-7):C23C14/02 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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