| 发明名称 |
OPTICAL CVD METHOD WITH A STRONG OPTICAL INTENSITY USED DURING AN INITIAL PERIOD AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0209131(A3) |
申请公布日期 |
1989.03.08 |
| 申请号 |
EP19860109787 |
申请日期 |
1986.07.16 |
| 申请人 |
NEC CORPORATION |
发明人 |
MORISHIGE, YUKIO C/O NEC CORPORATION |
| 分类号 |
C23C16/48;(IPC1-7):C23C16/04;C23C16/54 |
主分类号 |
C23C16/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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