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经营范围
发明名称
PREPARATION OF ION IMPLANTATION MASK
摘要
申请公布号
JPS6459860(A)
申请公布日期
1989.03.07
申请号
JP19870215325
申请日期
1987.08.31
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
ARIKADO TSUNETOSHI
分类号
H01L21/336;H01L21/265;H01L29/78
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
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