发明名称 FORMATION OF SUPERCONDUCTING WIRING PART
摘要
申请公布号 JPS6459926(A) 申请公布日期 1989.03.07
申请号 JP19870217626 申请日期 1987.08.31
申请人 FUJIKURA LTD 发明人 SHIODA TAKAO
分类号 H01L21/60;H01L23/52;H01L39/02;H01L39/06 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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