发明名称 Process for bonding die to substrate using a gold/silicon seed
摘要 An improved method for eutectically bonding a silicon wafer onto a gold preform is described. A gold/silicon seed is placed on a pure gold preform. Then a die is placed onto the pure gold preform and the gold/silicon seed, wherein the seed acts as a catalyst to form an eutectic bond.
申请公布号 US4810671(A) 申请公布日期 1989.03.07
申请号 US19880170079 申请日期 1988.03.14
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 BHATTACHARYYA, BIDYUT K.;TOSAYA, ERIC S.
分类号 B23K35/00;B23K35/30;H01L21/58;(IPC1-7):H01L23/36;H01L21/304;B01J17/00 主分类号 B23K35/00
代理机构 代理人
主权项
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