发明名称 WAFER NUMBER COUNTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6459582(A) 申请公布日期 1989.03.07
申请号 JP19870217220 申请日期 1987.08.31
申请人 NEC CORP 发明人 MIYATAKE HISAFUMI
分类号 G06M9/00 主分类号 G06M9/00
代理机构 代理人
主权项
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