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发明名称 MANUFACTURE OF MOS TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPS6459866(A) 申请公布日期 1989.03.07
申请号 JP19870216588 申请日期 1987.08.31
申请人 SONY CORP 发明人 HAYASHI HISAO
分类号 H01L27/12;H01L21/02;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
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