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发明名称 BATCH TYPE REACTIVE ION ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6459916(A) 申请公布日期 1989.03.07
申请号 JP19870217225 申请日期 1987.08.31
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 NISHIDA NORIAKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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