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发明名称 SUBSTRATE FOR FORMATION OF BUMP FOR TRANSCRIPTION USE
摘要
申请公布号 JPS6459834(A) 申请公布日期 1989.03.07
申请号 JP19870216858 申请日期 1987.08.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KAWAKITA TETSUO;HATADA KENZO;OGAWA KAZUFUMI;TAMURA HIDEJI
分类号 H01L21/60;B82B1/00 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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