发明名称 PLANAR TYPE PHASE SYNCHRONOUS INTEGRATED OPTICAL ELEMENT AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6457781(A) 申请公布日期 1989.03.06
申请号 JP19870215571 申请日期 1987.08.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKAHASHI SHOGO
分类号 H01L27/15;H01S5/00;H01S5/026 主分类号 H01L27/15
代理机构 代理人
主权项
地址