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发明名称 SEMICONDUCTOR ACCELERATION SENSOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6459161(A) 申请公布日期 1989.03.06
申请号 JP19870217623 申请日期 1987.08.31
申请人 FUJIKURA LTD 发明人 NISHIMURA HITOSHI
分类号 G01P15/12 主分类号 G01P15/12
代理机构 代理人
主权项
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