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发明名称 VISUAL INSPECTION DEVICE FOR PELLET
摘要
申请公布号 JPS6457728(A) 申请公布日期 1989.03.06
申请号 JP19870215599 申请日期 1987.08.28
申请人 NEC CORP 发明人 HONMA YASUAKI
分类号 G01N21/88;G01B9/029;G01N21/93;G01N21/956;H01L21/66;H04N5/225 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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