发明名称 CLEANING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6457624(A) 申请公布日期 1989.03.03
申请号 JP19870212938 申请日期 1987.08.28
申请人 KURITA WATER IND LTD 发明人 KAMETANI SHIGEJI
分类号 B08B3/04;H01L21/304 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
主权项
地址