发明名称 APPAREIL POUR SYSTEMES DE CROISSANCE DES CRISTAUX DENDRITIQUES EN RUBAN
摘要 Appareil pour systèmes de croissance des cristaux dendritiques en ruban.Cet appareil 1 permettant des vitesses plus élevées de croissance comprend un couvercle 11 et un sous-couvercle 15 utilisés pour former entre eux un espace isolant, ce qui maintient une température suffisamment élevée de la surface du bain de silicium en fusion 21 et assure une croissance stable en ruban, tout en permettant une transmission plus efficace de la chaleur du ruban dendritique 9 en cours de croissance au couvercle plus froid 11 du " suscepteur ".Applications : notamment au tirage du silicium en ruban.
申请公布号 FR2619827(A1) 申请公布日期 1989.03.03
申请号 FR19880011467 申请日期 1988.09.01
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP 发明人 ROLU HUNDAL;RAYMOND GEORGE SEIDENSTICKER;JAMES PAUL MCHUGH
分类号 C30B15/00;C30B15/14;C30B15/34;C30B29/06;C30B29/64;H01L21/208 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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