发明名称 |
COMPOSITION PHOTORESISTANTE COULABLE PAR ROTATION ET UTILISATION |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2565585(B1) |
申请公布日期 |
1989.03.03 |
申请号 |
FR19850008188 |
申请日期 |
1985.05.31 |
申请人 |
GENERAL ELECTRIC CY |
发明人 |
PAUL RICHARD WEST ET BRUCE FREDERICK GRIFFING;GRIFFING BRUCE FREDERICK |
分类号 |
G03C1/00;G03C1/72;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/09;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):C07C121/70;C07C101/02;C07C103/82;G03C1/68 |
主分类号 |
G03C1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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