发明名称 COMPOSITION PHOTORESISTANTE COULABLE PAR ROTATION ET UTILISATION
摘要
申请公布号 FR2565585(B1) 申请公布日期 1989.03.03
申请号 FR19850008188 申请日期 1985.05.31
申请人 GENERAL ELECTRIC CY 发明人 PAUL RICHARD WEST ET BRUCE FREDERICK GRIFFING;GRIFFING BRUCE FREDERICK
分类号 G03C1/00;G03C1/72;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/09;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):C07C121/70;C07C101/02;C07C103/82;G03C1/68 主分类号 G03C1/00
代理机构 代理人
主权项
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