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发明名称
摘要
申请公布号	JPS6435767(U)	申请公布日期	1989.03.03
申请号	JP19870129393U	申请日期	1987.08.26
申请人		发明人
分类号	B06B1/06;H01L41/08;(IPC1-7):H01L41/08	主分类号	B06B1/06
代理机构		代理人
主权项
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