| 发明名称 |
PRODUCTION DEVICE FOR SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6454733(A) |
申请公布日期 |
1989.03.02 |
| 申请号 |
JP19870211607 |
申请日期 |
1987.08.26 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KATSURA TOSHIHIKO;ABE MASAYASU |
| 分类号 |
H01L21/31;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/56;H01J37/34 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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