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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPS6455890(A)
申请公布日期
1989.03.02
申请号
JP19870213923
申请日期
1987.08.27
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
KOMATSU HIROSHI
分类号
H01L21/76;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812;H01S5/00
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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