| 发明名称 |
BOARD HOLDER FOR FILM PROCESSING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6454656(A) |
申请公布日期 |
1989.03.02 |
| 申请号 |
JP19870210092 |
申请日期 |
1987.08.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SATO TADASHI;NATSUI KENICHI;ONO YASUNORI;HAKAMATA YOSHIMI;MORIJIRI MAKOTO;SAITO MASAKATSU;AOKI SHIGEO;OISHI SEITARO |
| 分类号 |
H01L21/30;H01J37/305;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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