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发明名称 PRODUCTION OF THIN EL LAYER
摘要
申请公布号 JPS6455374(A) 申请公布日期 1989.03.02
申请号 JP19870213386 申请日期 1987.08.26
申请人 NEC CORP 发明人 NUNOMURA KEIJI;KOYAMA NOBUYOSHI
分类号 C23C14/24;C23C14/06 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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