发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS6454751(A) 申请公布日期 1989.03.02
申请号 JP19870210083 申请日期 1987.08.26
申请人 HITACHI LTD;HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD 发明人 EGASHIRA MASAHIRO;SUZUKI TOSHIMICHI
分类号 H01L23/50;B23K1/00 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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