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发明名称 METHOD FOR FORMING CONTACT PART BETWEEN SEMICONDUCTOR AND SUPERCONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS6455879(A) 申请公布日期 1989.03.02
申请号 JP19870211409 申请日期 1987.08.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAMURA YASUTAKA
分类号 H01L39/24;H01L21/28;H01L21/331;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/267;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/737;H01L29/80 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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