发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6455866(A) 申请公布日期 1989.03.02
申请号 JP19870213919 申请日期 1987.08.27
申请人 SONY CORP 发明人 SHINGU MASATAKA
分类号 H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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