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发明名称 HALBLEITERANORDNUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE3823270(A1) 申请公布日期 1989.03.02
申请号 DE19883823270 申请日期 1988.07.08
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HARADA, MASANA, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/336;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/423;H01L29/68;H01L29/739;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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