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发明名称 WIRING METHOD FOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6455843(A) 申请公布日期 1989.03.02
申请号 JP19870212618 申请日期 1987.08.26
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 MIYANO NAOYA;YANO HIROSHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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