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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6453559(A) 申请公布日期 1989.03.01
申请号 JP19870212126 申请日期 1987.08.25
申请人 SHARP CORP 发明人 KONDO MASAHARU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/76 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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