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发明名称 ETCHING OF METAL THIN-FILM SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS6453550(A) 申请公布日期 1989.03.01
申请号 JP19870210569 申请日期 1987.08.25
申请人 DAINIPPON PRINTING CO LTD 发明人 MATSUO SOICHI
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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