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发明名称 EQUAL TILT ANGLE INTERFERENCE TYPE FILM THICKNESS GAUGE
摘要
申请公布号 JPS6453101(A) 申请公布日期 1989.03.01
申请号 JP19880124155 申请日期 1988.05.20
申请人 KURABO IND LTD 发明人 KOTARI KATSUE;EGUCHI YOSUKE
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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