发明名称 METHOD AND DEVICE FOR EVALUATION IN-SURFACE ANISOTROPY OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6453145(A) 申请公布日期 1989.03.01
申请号 JP19880093061 申请日期 1988.04.15
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 MATSUZAKI KOJI
分类号 G01N25/18 主分类号 G01N25/18
代理机构 代理人
主权项
地址