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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR EVALUATION IN-SURFACE ANISOTROPY OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPS6453145(A)
申请公布日期
1989.03.01
申请号
JP19880093061
申请日期
1988.04.15
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
MATSUZAKI KOJI
分类号
G01N25/18
主分类号
G01N25/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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