发明名称 Method and apparatus for measuring by analysing a grooved luminous spectrum, especially for measuring a small amplitude displacement of a movable surface, possibly representative of the variation of a physical quantity convertible into such a displacement.
摘要 <p>Le dispositif de mesure comporte un interféromètre à deux faisceaux (3) avec deux surfaces réfléchissantes, l'une (5) fixe et l'autre (6) mobile, définissant une différence de marche (e) des rayons lumineux dans l'interféromètre, une source de lumière (1) et un analyseur (8) du spectre cannelé engendré par ladite source de lumière dans ledit interféromètre; l'analyseur est constitué par des moyens (9) d'étalement spatial du spectre cannelé, par un filtre (12) dont le coefficient de transmission et/ou de réflexion est périodique, au moins suivant une direction, de période fixe, égale ou sensiblement égale, éventuellement à un facteur près, à la période de la distribution spatiale du spectre étalé spatialement, et au moins un photodétecteur (14,14') recevant la lumière transmise et/ou réfléchie par ledit réseau pour déterminer ladite différence de marche.</p>
申请公布号 EP0305244(A1) 申请公布日期 1989.03.01
申请号 EP19880401962 申请日期 1988.07.28
申请人 PHOTONETICS 发明人 GRAINDORGE, PHILIPPE;DESFORGES, FRANCOIS-XAVIER
分类号 G01D5/26;(IPC1-7):G01D5/26 主分类号 G01D5/26
代理机构 代理人
主权项
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