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发明名称
摘要
申请公布号	JPH01500630(A)	申请公布日期	1989.03.01
申请号	JP19870504383	申请日期	1987.05.26
申请人		发明人
分类号	H01L29/201;H01L29/205;H01L29/76;H01L29/88	主分类号	H01L29/201
代理机构		代理人
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