发明名称 PROCEDIMIENTO PARA FORMAR SOBRE UN SUSTRATO UN REVESTIMIENTO DE CAPAS MULTIPLES DEL TIPO DE CERAMICA O PARECIDO.
摘要 LA PRESENTE INVENCION SE REFIERE A MATERIALES PRODUCIDOS MEDIANTE LA DILUCION EN UN DISOLVENTE DE UNA MEZCLA DE PRECERAMICA DE RESINA DE HIDROGENO SILSESQUIOXANO CATALIZADA CON PLATINO O RODIO. LA SOLUCION EN DISOLVENTE DE LA MEZCLA DE PRECERAMICA SE APLICA A UN SUSTRATO Y SE TRANSFORMA EN CERAMICA MEDIANTE CALENTAMIENTO. UNO O VARIOS REVESTIMIENTOS CERAMICOS CONTENIENDO SILICIO-CARBONO, SILICIO-NITROGENO, O SILICIO-CARBONO-NITROGENO PUEDEN APLICARSE SOBRE EL REVESTIMIENTO DE SIO2 TRANSFORMADO EN CERAMICA. UN REVESTIMIENTO SUPERIOR DE CVD O DE PECVD PUEDE SER APLICADO PARA OBTENER UNA PROTECCION SUPLEMENTARIA. LA INVENCION ES PARTICULARMENTE UTIL PARA REVESTIR DISPOSITIVOS ELECTRONICOS.
申请公布号 ES2005468(A6) 申请公布日期 1989.03.01
申请号 ES19870003424 申请日期 1987.11.30
申请人 DOW CORNING CORPORATION 发明人 HALUSKA LOREN ANDREW;KEITH WINTON MICHAEL;TARHAY LEO
分类号 C04B41/50;C04B41/52;C23C18/12;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/56;H01L23/29;H05K3/28;(IPC1-7):C04B41/50;C04B35/14 主分类号 C04B41/50
代理机构 代理人
主权项
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