发明名称 |
PROCEDIMIENTO PARA FORMAR SOBRE UN SUSTRATO UN REVESTIMIENTO DE CAPAS MULTIPLES DEL TIPO DE CERAMICA O PARECIDO. |
摘要 |
LA PRESENTE INVENCION SE REFIERE A MATERIALES PRODUCIDOS MEDIANTE LA DILUCION EN UN DISOLVENTE DE UNA MEZCLA DE PRECERAMICA DE RESINA DE HIDROGENO SILSESQUIOXANO CATALIZADA CON PLATINO O RODIO. LA SOLUCION EN DISOLVENTE DE LA MEZCLA DE PRECERAMICA SE APLICA A UN SUSTRATO Y SE TRANSFORMA EN CERAMICA MEDIANTE CALENTAMIENTO. UNO O VARIOS REVESTIMIENTOS CERAMICOS CONTENIENDO SILICIO-CARBONO, SILICIO-NITROGENO, O SILICIO-CARBONO-NITROGENO PUEDEN APLICARSE SOBRE EL REVESTIMIENTO DE SIO2 TRANSFORMADO EN CERAMICA. UN REVESTIMIENTO SUPERIOR DE CVD O DE PECVD PUEDE SER APLICADO PARA OBTENER UNA PROTECCION SUPLEMENTARIA. LA INVENCION ES PARTICULARMENTE UTIL PARA REVESTIR DISPOSITIVOS ELECTRONICOS. |
申请公布号 |
ES2005468(A6) |
申请公布日期 |
1989.03.01 |
申请号 |
ES19870003424 |
申请日期 |
1987.11.30 |
申请人 |
DOW CORNING CORPORATION |
发明人 |
HALUSKA LOREN ANDREW;KEITH WINTON MICHAEL;TARHAY LEO |
分类号 |
C04B41/50;C04B41/52;C23C18/12;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/56;H01L23/29;H05K3/28;(IPC1-7):C04B41/50;C04B35/14 |
主分类号 |
C04B41/50 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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