发明名称 FORMATION OF WIRING
摘要
申请公布号 JPS6453562(A) 申请公布日期 1989.03.01
申请号 JP19870210712 申请日期 1987.08.25
申请人 SONY CORP 发明人 KIYOTA HISAHARU;ENDO SHIHOKO;MATSUO HIROAKI
分类号 H01L21/20;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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