RESIST COATING DEVICE,申请号JP19870210918-传众专利搜索

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发明名称	RESIST COATING DEVICE
摘要
申请公布号	JPS6453420(A)	申请公布日期	1989.03.01
申请号	JP19870210918	申请日期	1987.08.24
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	FUCHIGAMI KATSUNORI;KAWADA YOSHINOBU
分类号	B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30	主分类号	B05C11/08
代理机构		代理人
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